Szczegóły

Tytuł artykułu

Analysis Of Factors Affecting Gravity-Induced Deflection For Large And Thin Wafers In Flatness Measurement Using Three-Point-Support Method

Tytuł czasopisma

Metrology and Measurement Systems

Rocznik

2015

Numer

No 4

Autorzy publikacji

Wydział PAN

Nauki Techniczne

Wydawca

Polish Academy of Sciences Committee on Metrology and Scientific Instrumentation

Identyfikator

ISSN 0860-8229

×