Szczegóły

Tytuł artykułu

Conductive atomic force microscope for investigation of thin-film gate insulators

Tytuł czasopisma

Bulletin of the Polish Academy of Sciences: Technical Sciences

Rocznik

2008

Wolumin

vol. 56

Numer

No 1

Autorzy

Słowa kluczowe

AFM ; conductive probe ; thin-film oxides annealing

Wydział PAN

Nauki Techniczne

Zakres

39-44

Wydawca

Polish Academy of Sciences

Data

2008

Typ

Artykuły / Articles

Identyfikator

ISSN 0239-7528, eISSN 2300-1917
×