Szczegóły Szczegóły PDF BIBTEX RIS Tytuł artykułu THE MORPHOLOGY AND STRUCTURE OF ZnO THIN FILMS DEPOSITED BY ALD METHOD Tytuł czasopisma Archives of Metallurgy and Materials Rocznik 2018 Wolumin vol. 63 Numer No 1 Autorzy Boryło, P. ; Gołombek, K. ; Matus, K. ; Lukaszkowicz, K. Słowa kluczowe ALD ; ZnO ; SEM ; TEM ; UV/VIS Wydział PAN Nauki Techniczne Wydawca Institute of Metallurgy and Materials Science of Polish Academy of Sciences ; Committee of Materials Engineering and Metallurgy of Polish Academy of Sciences Data 2018-03-06 Typ Artykuły / Articles Identyfikator DOI: 10.24425/118919 ; e-ISSN 2300-1909 Źródło Archives of Metallurgy and Materials; 2018; vol. 63; No 1