Szczegóły

Tytuł artykułu

Applications of the LTCC ceramics in microplasma systems

Tytuł czasopisma

Metrology and Measurement Systems

Rocznik

2019

Wolumin

vol. 26

Numer

No 4

Autorzy

Słowa kluczowe

microplasma ; Low-Temperature Co-fired Ceramics ; microsystems

Wydział PAN

Nauki Techniczne

Zakres

713-724

Wydawca

Polish Academy of Sciences Committee on Metrology and Scientific Instrumentation

Data

2019.12.28

Typ

Article

Identyfikator

DOI: 10.24425/mms.2019.130564 ; ISSN 0860-8229

Źródło

Metrology and Measurement Systems; 2019; vol. 26; No 4; 713-724
×