Szczegóły

Tytuł artykułu

Characterization of the ionization process inside a miniature glow-discharge micropump

Tytuł czasopisma

Bulletin of the Polish Academy of Sciences Technical Sciences

Rocznik

2018

Wolumin

66

Numer

No 2 (Special Section on Nano- and Micromechanics)

Autorzy

Słowa kluczowe

ion-sorption micropump ; MEMS-type micropump ; gas discharge ; ionization

Wydział PAN

Nauki Techniczne

Zakres

173-178

Data

2018.04.30

Identyfikator

DOI: 10.24425/122097 ; ISSN 2300-1917

Źródło

Bulletin of the Polish Academy of Sciences: Technical Sciences; 2018; 66; No 2 (Special Section on Nano- and Micromechanics); 173-178
×