Tytuł artykułu

Structure and Electrical Resistivity Dependence of Molybdenum Thin Films Deposited by DC Modulated Pulsed Magnetron Sputtering

Tytuł czasopisma

Archives of Metallurgy and Materials

Rocznik

2018

Wolumin

vol. 63

Numer

No 3

Autorzy

Wicher, B. ; Chodun, R. ; Nowakowska-Langier, K. ; Okrasa, S. ; Król, K. ; Minikayev, R. ; Strzelecki, G. ; Zdunek, K.

Słowa kluczowe

magnetron sputtering ; modulated pulse magnetron sputtering ; plasma&films characterization

Wydział PAN

Nauki Techniczne

Zakres

1339-1344

Wydawca

Institute of Metallurgy and Materials Science of Polish Academy of Sciences ; Committee of Materials Engineering and Metallurgy of Polish Academy of Sciences

Data

2018.10.10

Typ

Artykuły / Articles

Identyfikator

DOI: 10.24425/123809 ; e-ISSN 2300-1909

Źródło

Archives of Metallurgy and Materials; 2018; vol. 63; No 3; 1339-1344