Tytuł artykułu

Scanning probe microscopy as a metrology method in microand nanostructure investigations

Tytuł czasopisma

Bulletin of the Polish Academy of Sciences Technical Sciences

Rocznik

2006

Wolumin

vol. 54

Numer

No 1

Autorzy

Gotszalk, T. ; Marendziak, A. ; Kolanek, K. ; Szeloch, R. ; Grabiec, P. ; Zaborowski, M. ; Janus, P. ; Rangelow, I.W.

Słowa kluczowe

scanning probe microscopy ; micro- and nanostructure investigations

Wydział PAN

Nauki Techniczne

Zakres

19-23

Data

2006

Typ

Artykuły / Articles

Identyfikator

ISSN 2300-1917

Źródło

Bulletin of the Polish Academy of Sciences: Technical Sciences; 2006; vol. 54; No 1; 19-23